1、壓力傳感器校準(zhǔn)范圍

本檢定規(guī)程適用于測(cè)量范圍為（一0.1?500）MPa（表壓、差壓或絕壓）的壓力傳感器（靜態(tài)）的shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

2、引用文件

本規(guī)程引用下列文件:

JJF 1008—2008壓力計(jì)量名詞術(shù)語(yǔ)及定義

GB/T 15478—1995壓力傳感器性能試驗(yàn)方法

GB/T 18459—2001傳感器主要靜態(tài)性能指標(biāo)計(jì)算方法

GB/T 18806—2002電阻應(yīng)變式壓力傳感器總規(guī)范

GB/T 20522—2006半導(dǎo)體器件第14-3部分：半導(dǎo)體傳感器一壓力傳感器

凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)程。

3、術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位

3.1術(shù)語(yǔ)

3. 1. 1 靜態(tài)壓力 static pressure

在所研究的領(lǐng)域內(nèi)，不隨時(shí)間變化或隨時(shí)間變化而緩慢變化的壓力。[JJF1008一

2008 定義 1. 8]

3. 1. 2 壓力傳感器 pressure transducer

能感受壓力信號(hào)，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出電信號(hào)的器件

或裝置。[JJF 1008—2008 定義 5.1]

3.1.3 零點(diǎn)漂移 zero drift

在規(guī)定的條件下和時(shí)間間隔內(nèi)，零點(diǎn)輸出值的變化量。

3.1.4 靈敏度 sensitivity

傳感器輸出變化量與相應(yīng)的輸入變化量之比。[GB/T 18459—2001定義2. 3. 2]

3.1.5 符合度 conformity

正、反行程實(shí)際平均特性曲線(xiàn)相對(duì)于參比曲線(xiàn)的最大偏差，用滿(mǎn)量程輸出的百分比來(lái)表示。[GB/T 18459—2001 定義 2. 3. 6]

3.2計(jì)量單位

壓力傳感器使用的法定計(jì)量單位為Pa（帕斯卡），或是它的十進(jìn)倍數(shù)單位：kPa、 MPa等。壓力傳感器的輸出主要有電壓（V、mV）、電流（mA）或頻率（Hz）等。

4、壓力傳感器校準(zhǔn)概述

壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成。按不同的測(cè)試壓力類(lèi)型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖1 所示。

圖1壓力傳感器原理框圖

5、計(jì)量性能要求

5.1準(zhǔn)確度等級(jí)及基本誤差限

壓力傳感器的準(zhǔn)確度等級(jí)及基本誤差限應(yīng)符合表1規(guī)定。

表1準(zhǔn)確度等級(jí)及基本誤差限

5.2重復(fù)性壓力傳感器的重復(fù)性不得大于基本誤差限的絕對(duì)值。

5.3遲滯

壓力傳感器的遲滯不得大于基本誤差限的絕對(duì)值。

5.4線(xiàn)性

壓力傳感器的線(xiàn)性的絕對(duì)值不得大于基本誤差限的絕對(duì)值。非線(xiàn)性壓力傳感器對(duì)此不作要求。

5.5零點(diǎn)漂移

壓力傳感器的零點(diǎn)漂移不得大于基本誤差限絕對(duì)值的1/2。絕壓傳感器對(duì)此不作 要求。

5.6周期穩(wěn)定性

本次檢定的靈敏度與上一周期的靈敏度差值的絕對(duì)值，與本次檢定的靈敏度的比值為靈敏度周期穩(wěn)定性，通常以百分?jǐn)?shù)表示，該值不得大于基本誤差限絕對(duì)值。

5.7靜壓影響

靜壓影響只適用于差壓傳感器，靜壓零位變化不得大于基本誤差限絕對(duì)值。

5.8曲線(xiàn)符合度

曲線(xiàn)符合度只適用于非定點(diǎn)使用的非線(xiàn)性傳感器，曲線(xiàn)符合度不得大于基本誤差限絕對(duì)值。

通用技術(shù)要求

6.1外觀(guān)

6. 1.1壓力傳感器的銘牌應(yīng)完整、清晰，應(yīng)具有出廠(chǎng)編學(xué)、型號(hào)規(guī)格、測(cè)量范圍等信息；產(chǎn)品名稱(chēng)、準(zhǔn)確度等級(jí)、制造廠(chǎng)的名稱(chēng)或商標(biāo)、額定工作電壓（或電流）、輸出信 號(hào)、最大過(guò)載壓力、制造計(jì)量器具許可標(biāo)志及編號(hào)等信息可以根據(jù)情況在銘牌上增加，或在附帶的技術(shù)文件中進(jìn)行完整說(shuō)明；差壓傳感器的高壓（+或H）和低壓（一或L） 接嘴應(yīng)有明確的yongjiu性標(biāo)志。

6.1.2壓力傳感器的配套零部件應(yīng)完好無(wú)損，外觀(guān)不應(yīng)有影響計(jì)量性能的銹蝕或損傷。各部件應(yīng)裝配牢固，不應(yīng)有松動(dòng)、脫焊或接觸不良等現(xiàn)象。

6.1.3壓力傳感器的電源輸入端和信號(hào)輸出端應(yīng)有明確的區(qū)別標(biāo)志，在附帶的技術(shù)文件中應(yīng)對(duì)各端子連線(xiàn)進(jìn)行完整說(shuō)明。

6.1.4使用中的壓力傳感器應(yīng)有上一周期的檢定證書(shū)，新制造的壓力傳感器應(yīng)有出廠(chǎng)合格證書(shū)。

6.2密封性

壓力值下降（或上升）不得超過(guò)試驗(yàn)壓力的1%。

6.3絕緣電阻

傳感器各組端子（包括外殼）之間的絕緣電阻應(yīng)不小于10 MQ。

7、計(jì)量器具控制

計(jì)量器具控制包括shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

7.1檢定條件

7. 1-1檢定設(shè)備

檢定時(shí)所需的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及配套設(shè)備可按被檢壓力傳感器的規(guī)格，參照表2進(jìn)行選擇并組合成套。對(duì)0.1級(jí)以下的被檢壓力傳感器，整套檢定設(shè)備檢定時(shí)引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對(duì)值的1/4；對(duì)0. 1級(jí)和0. 05級(jí)被檢 壓力傳感器，由此引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對(duì)值 的1/3；對(duì)0.05級(jí)以上的被檢壓力傳感器，由此引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對(duì)值的1/2 O

表2計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及配套設(shè)備

7. 1.2環(huán)境條件

  a）檢定時(shí)的環(huán)境溫度視被檢壓力傳感器的準(zhǔn)確度等級(jí)而定，應(yīng)符合表3要求。

表3檢定環(huán)境溫度要求

b） 相對(duì)濕度：小于80%；

c） 所處環(huán)境應(yīng)沒(méi)有影響壓力傳感器穩(wěn)定輸出的機(jī)械振動(dòng)和外磁場(chǎng)（地磁場(chǎng)除外）。

7.2檢定項(xiàng)目

壓力傳感器shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查的檢定項(xiàng)目見(jiàn)表4。

表4檢定項(xiàng)目

7. 3檢定方法

7.3.1外觀(guān)檢查

用目力觀(guān)測(cè)，應(yīng)符合6.1的要求。

7.3.2檢定前準(zhǔn)備

7.3.2.1設(shè)備的連接與安裝

檢定前，壓力傳感器應(yīng)在檢定環(huán)境條件下放置2h以上，方可進(jìn)行檢定。

將壓力傳感器按要求與壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置連接，對(duì)釆用液體為傳壓介質(zhì)的壓力標(biāo)準(zhǔn)器, 安裝時(shí)應(yīng)排除管路中的空氣。壓力傳感器、激勵(lì)電源、讀數(shù)記錄裝置等儀器設(shè)備按規(guī)定連接方式連接，使其處于正常工作位置和狀態(tài)。安裝壓力傳感器時(shí)，應(yīng)盡量使壓力傳感器的感壓面與壓力標(biāo)準(zhǔn)器的參考平面在同一水平面上，對(duì)于由高度差引起的誤差，可參照附錄A進(jìn)行修正。

7.3.2.2通電預(yù)熱

檢定系統(tǒng)正確安裝、連接后，至少需通電預(yù)熱30 min0

7.3.2.3檢定前預(yù)壓

對(duì)檢定系統(tǒng)加壓至預(yù)壓壓力，穩(wěn)定Imin后，緩慢通大氣，連續(xù)進(jìn)行3次。

預(yù)壓壓力：正表壓傳感器為其測(cè)量范圍上限；負(fù)表壓傳感器為測(cè)量范圍下限或當(dāng)?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓傳感器及正負(fù)壓復(fù)合量程傳感器為測(cè)量范圍上限和下限（或當(dāng)?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）兩個(gè)壓力點(diǎn)。

7.3.3 密封性檢查

將壓力傳感器和壓力測(cè)量?jī)x表安裝在壓力標(biāo)準(zhǔn)器上，平穩(wěn)地升壓（或疏空），使壓力傳感器測(cè)量室壓力達(dá)到密封性檢查壓力，關(guān)閉壓力源，待壓力穩(wěn)定后，耐壓15 min,在最后5 min內(nèi)通過(guò)壓力測(cè)量?jī)x表觀(guān)察，其壓力值下降（或上升）不得超過(guò)試驗(yàn)壓力的1%。

密封性檢查壓力：正表壓傳感器為其測(cè)量范圍上限；負(fù)表壓傳感器為測(cè)量范圍下限 或當(dāng)?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓及正負(fù)壓復(fù)合量 程傳感器取測(cè)量范圍上限和下限（或當(dāng)?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）偏離當(dāng)前大氣壓較大者。

差壓傳感器在進(jìn)行密封性檢查時(shí)，高低壓力容室連通，并同時(shí)引入額定工作壓力進(jìn) 行觀(guān)察。

7.3.4絕緣電阻檢定

在環(huán)境溫度為15 °C?35 °C,相對(duì)濕度為45%?75%時(shí)，在被檢傳感器不施加激勵(lì) 電源的條件下，用輸出電壓為直流100 V的絕緣電阻表，將電源端子和輸出端子分別短接，用絕緣電阻表分別測(cè)量電源端子與接地端子（外殼）、電源端子與輸出端子、輸出 端子與接地端子（外殼）之間的絕緣電阻。測(cè)量時(shí)，應(yīng)穩(wěn)定10 s后讀數(shù)。

7. 3.5零點(diǎn)漂移檢定

在規(guī)定的環(huán)境條件下，傳感器通電預(yù)熱及預(yù)壓后，記錄零點(diǎn)初始輸出值貝，然后每隔15 min記錄一次零點(diǎn)輸出值乂（/ = 1, 2, 3,…），從開(kāi)始記錄起連續(xù)進(jìn)行的時(shí)間不得少于lh,零點(diǎn)漂移億按公式（1）計(jì)算，其值應(yīng)符合5.5的要求。